Máquina de limpeza FOUP totalmente automática
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Máquina de limpeza FOUP totalmente automática para fábrica de semicondutores

Máquina de limpeza FOUP totalmente automática concebida para fábricas de semicondutores e linhas de manuseamento de bolachas. Suporta a lavagem, enxaguamento e secagem eficientes do suporte para ajudar a remover partículas, resíduos químicos e contaminação iónica, melhorando a limpeza da FOUP, a estabilidade do processo e o rendimento global da produção.

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Esta máquina de limpeza FOUP totalmente automática foi especificamente concebida para limpar partículas FOUP/FOSB de 12 polegadas e iões metálicos, o que a torna adequada para a indústria de semicondutores. O equipamento utiliza uma filtragem de precisão em várias fases para cumprir as normas de limpeza da Classe 10/100, proporciona uma limpeza por pulverização de 360° sem ângulos mortos e está equipado com um sistema de secagem a vácuo. Suporta a comunicação e a integração de automação principais e está em conformidade com as normas SEMI S2 e CE.

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