ماكينة التنظيف الأفقي لزجاج ترانزستور الترانزستور الرقيق الباعث للضوء (TFT) لخطوط إنتاج الشاشات المسطحة وأشباه الموصلات. وهي تدعم عمليات النقل المستمر للألواح والتنظيف الرطب والشطف والتجفيف لإزالة الجسيمات والبقايا والملوثات قبل الطلاء أو الربط أو الفحص أو التجميع في بيئات الغرف النظيفة.
The single-wafer wet etching spin processor is suitable for etching metal layers such as UBM and RDL, as well as second- and third-generation 2.5 and 3.5 generation etching. The chamber allows for multi-chemical etching, with precise and controllable swing arm and spraying. Acid and alkali are recycled separately without pollution. The integrated PTFE chamber prevents backsplashing, the entire unit is corrosion-resistant, and the interface is simple, meeting the needs of mass production and engineering.
