FPD 생산용 TFT 유리 수평 세척기

평판 디스플레이 및 반도체 생산 라인용 TFT 유리 수평 세척기. 클린룸 환경에서 코팅, 접착, 검사 또는 조립 전에 입자, 잔류물 및 오염 물질을 제거하기 위한 연속 패널 이송, 습식 세척, 헹굼 및 건조 공정을 지원합니다.

제품 양식
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The single-wafer wet etching spin processor is suitable for etching metal layers such as UBM and RDL, as well as second- and third-generation 2.5 and 3.5 generation etching. The chamber allows for multi-chemical etching, with precise and controllable swing arm and spraying. Acid and alkali are recycled separately without pollution. The integrated PTFE chamber prevents backsplashing, the entire unit is corrosion-resistant, and the interface is simple, meeting the needs of mass production and engineering.