Полуавтоматический очиститель FOUP от NEPTECH для полупроводниковых заводов

Полуавтоматическая машина для очистки FOUP компании NEPTECH предназначена для заводов, где требуется надежная очистка, ополаскивание и сушка носителей вафель. Конструкция из нержавеющей стали, смотровая дверца и панель оператора обеспечивают управляемые рабочие процессы для обслуживания FOUP, FOSB и прицельных капсул, а также поддержку глобальных поставщиков уже сегодня.

Форма продукта
Поделитесь с друзьями

The FOUP cleaning machine is an automatic centrifugal cleaning device, compatible with various wafer cassettes such as SMIF, FOUP, FOSB, and Cassette. It removes particles and metal ions through 360° rotation and high-pressure DI water rinsing, followed by centrifugal hot air drying, resulting in excellent cleaning and drying performance. It supports SECS/GEM200/300 and complies with SEMI S2 and CE semiconductor standards.