반도체 팹용 단결정 로터리 웨이퍼 식각기

이 단결정 회전식 웨이퍼 에칭 장비는 제어된 회전, 균일한 화학적 에칭 및 안정적인 배치 처리가 필요한 반도체 습식 공정 애플리케이션을 위해 설계되었습니다. 팹, 실험실 및 장비 업그레이드 프로젝트에서 웨이퍼 수준의 준비, 세척 및 표면 처리를 지원합니다.

제품 양식
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This equipment is suitable for UBM, RDL, BGBM, and second- and third-generation semiconductor etching processes. A single chamber supports multiple processes, and the chemical recovery rate is high. The swing arm is programmable, and the magnetic levitation pump provides uniform liquid control. Separate acid and alkali chambers prevent cross-contamination. The integrated PTFE curved chamber resists backsplashing, and the entire unit is acid and alkali resistant, stable, and durable.