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メライフ
2006年開始
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Non-standard fully automatic FOUP cleaning machine
Non-standard fully automatic FOUP cleaning machine
  1. Non-standard fully automatic FOUP cleaning machine
  2. Non-standard fully automatic FOUP cleaning machine

半導体工場用全自動FOUP洗浄機

This fully automatic FOUP cleaning machine is designed for semiconductor fabs requiring reliable wafer carrier cleaning, rinsing, and drying. Its enclosed stainless-steel structure supports contamination control, stable operation, and customized integration for advanced manufacturing lines worldwide

製品形態
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愛を分かち合いましょう

This equipment is based on the original semi-automatic FOUP cleaning machine. By adding two sets of cleaning baskets, the maximum number of wafers that can be cleaned at one time is increased. At the same time, the equipment is connected to a fully automatic load port and a buffer device, which enables fully automatic wafer carrier loading/unloading and fully automatic cassette opening, while buffering up to 24 wafer foups of 12-inch wafers.

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