منظف الغمر بالموجات فوق الصوتية لحزم أشباه الموصلات

يُستخدم هذا المُنظِّف الأوتوماتيكي بالكامل لتنظيف حاويات FOUP/FOSB مقاس 12 بوصة. ترشيح دقيق متعدد المراحل يفي بمعايير النظافة من الفئة 10/100. يضمن الرش بزاوية 360 درجة + التجفيف بالتفريغ (اختياري) نظافة وكفاءة عالية. وهو يدعم وصلات EAP/MES/AMHS، و SECS/GEM، و OHT/PGV/AGV، ويتوافق مع معايير SEMI S2 و CE.